기판 검사 공정 (2)

2023. 1. 4. 00:03기판

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오늘은 기판 검사 공정의 세부 공정에 대해 알아보겠습니다.

 

 

PKG inspection process flow chart

 

Normal process

 

ET(Electronic Test) : Open / Short inspection

AFVI(Automatic Final Visual Inspection) with VRS : Surface inspection. AFVI는 M/C scan, VRS는 Human confirm

FVI(Final Visual Inspection) : Necked eye inspection (use the microscope)

Marking : Defect unit marking, Laser marking

Rince : Final rinse (use the D/I water)

Auto sorting : Sorting the strip(X-out), Count about the good unit QTY, Check the wrong laser marking

OQA : Sampling inspection

Packing : Vacuum packing

Shipping

 

 

SOP type process

 

ET(Electronic Test) : Open / Short inspection

3D AFVI(3 dimensional Automatic Final Visual Inspection) with VRS : Bump inspection. Height, diameter, Damage, Missing, Small

AFVI(Automatic Final Visual Inspection) with VRS : Surface inspection. AFVI는 M/C scan, VRS는 Human confirm

FVI(Final Visual Inspection) : Necked eye inspection (use the microscope)

Marking : Defect unit marking, Laser marking

Rinse : Final rinse (use the D/I water)

Auto sorting : Sorting the strip(X-out), Count about the good unit QTY, Check the wrong laser marking

OQA : Sampling inspection

Packing : Vacuum packing

Shipping

 

 

오늘은 이렇게 기판 검사 공정의 세부 공정에 대해 알아보았습니다. (3)에서도 세부 공정에 대해 자세하게 알아보겠습니다.

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