기판 SR 공정 (2)
지난 시간에 이어 기판 SR 공정에 대해서 알아보겠습니다. 이번 시간에는 SR 공정의 장비 위주로 알아보겠습니다. DFSR 진공 밀착 설비 및 공정 개요 장비 구성 : DFSR 가접부 - carrier film 권출 - vacuum press - hot press - carrier film 권취 (Carrier film Forwarder - Rubber Press type Vacuum Laminator - Hot Press - Carrier film Rewinder) SR exposure (UVDI 노광) SR UVDI 노광 설비 개요 UV 빛과 DMD(Digital Micro-mirror Device)를 이용하여 원하는 부위만 광 반응을 시킵니다. 연속 동작 - DMD에 대해 기판을 일정 속도로 움직이..
2022.11.03