반도체 8대 공정 - Doping 공정 (9)

지난 시간에 이종에피로 인해 기판과 에피 성장된 막간 발생하는 스트레스에 대하여 알아보았습니다. 이번 시간에 더 자세하게 알아보겠습니다. 기판보다 격자 상수가 큰 경우 에피막은 압축응력(compressive stress)을 받게 되고, 기판보다 격자 상수가 작은 경우에는 인장응력(tensile stress)을 받게 됩니다. 성장된 막이 두꺼워질수록 응력이 커지게 되는데, 그 힘에 의해 기판(웨이퍼)이 휘거나 심한 경우 깨지기도 합니다. 또한, 기판과 격자 상수의 차이가 클 경우 기판의 결정성을 에피막이 유지할 수 없기 때문에 에피택시 성장이 되지 않습니다. 보통 약 5~10% 격자 상수의 차이 내에서 에피막이 성장되며 그 이상의 차이나 나는 경우 에피막이 아닌 박막이 성장됩니다. 이는 에피 성장의 메커니..

2023.06.19