반도체 8대 공정 (1)

반도체 8대 공정에 대해서 알아보겠습니다. 반도체 8대 공정 포토 - Etch - 박막 - 금속 배선 - 산화 - Doping - CMP - 세정 Photolithography : 원하는 회로 설계를 만들어 놓은 마스크라는 원판에 빛을 쬐어 생기는 그림자를 웨이퍼 상에 전사시켜 복사하는 기술 공정 3요소 빛 : 자외선, 극자외선 마스크 : 자외선이 잘 통과하는 석영 유리판에 자외선을 차단하는 차단막으로 반도체 회로 패턴을 만들어 놓은 것 PR(감광제) : 특정 파장의 빛을 조사하면 빛과 반응하여 화학 구조가 바뀌게 되고, 빛을 받은 부분 또는 받지 않은 부분이 현상액에 녹는 특성이 있음 공정 순서 표면처리(HDMS) - 스핀 코팅(PR 도포) - Soft Bake - 정렬(Align) 및 노광(Expos..

2022.12.02