주사전자현미경 SEM 사용법 (2)

주사전자현미경 SEM 사용법 (1) 편에 이어서, 오늘은 본격적 촬영법에 대해 알아보겠습니다.

순서보다는 각 버튼의 의미에 대해 집중해보겠습니다.

 

3. 본격적 촬영

진공 상태가 되었다면 beam on이 켜지며, 본격적으로 촬영을 진행합니다.

우선 높이를 의미하는 Z, WD&Z가 매우 크게, 즉 높이가 낮게 설정되어 있을 것이므로 이 높이를 올려줍니다. 측정 물체가 렌즈에 닿지 않도록 서서히 높이를 조정해줍니다. 저는 주로 기판 몰딩을 측정하며, 몰딩 기준 약 15 정도로 설정합니다.

높이를 올려야 전자빔이 이동하는 거리가 길지 않으므로 노이즈가 적어집니다.

그 다음에는 '모드'에서 wide 모드로 원하는 촬영 위치를 찾아줍니다. 원하는 위치를 찾았다면, resolution 모드로 바꿔주면 좋습니다.

 

앞으로 설명할 WD, mag 등은 버튼을 누르고 휠을 돌리면 조절 가능합니다.

WD는 초점 조절을 의미합니다. WD를 클릭하고, 휠을 돌려 초점을 맞춰줍니다. 이 때, 더블클릭하면 영역이 생기는데 이 영역 안에서 초점을 조정하는 게 더 용이합니다. 영역 안에서 초점이 맞춰지면 다시 더블클릭하여 맞춰진 초점을 전체 영역에 적용할 수 있습니다.

 

mag는 확대 및 축소를 의미합니다. 원하는 위치로의 이동은 마우스 휠 클릭으로 가능합니다.

scan speed가 높을수록 노이즈가 적지만 이미지가 천천히 출력됩니다. 낮을수록 노이즈가 많으며 이미지가 빠르게 출력됩니다.

 

STG 입사각은 전자빔이 입사하는 각도를 말하는데, 이 버튼은 주로 건드리지 않습니다.

 

auto 버튼을 누르면 밝기가 자동으로 조절됩니다. 해 아이콘을 누르면 휠을 돌려 밝기를 조절할 수도 있습니다.

 

각 버튼의 역할을 요약하자면 다음과 같습니다.

mode : 모드

WD : 초점

Mag : 확대 및 축소

scan : scan speed

STG : 입사각

auto : 밝기 자동 조절

 

원하는 이미지를 만들었다면, 촬영을 해야합니다.

acquire image 버튼을 누르면 촬영본이 뜨고, 자동으로 '다른 이름으로 저장' 창이 뜨게 됩니다.

 

SEM을 찍었을 때 포함된 원소를 알고 싶다면, EDS 창을 통해 확인할 수 있습니다.

 

 

4. SEM 끄기

 

SEM 촬영이 끝나면 진공을 풀기 전, Z와 WD&Z를 원래대로 높여두는 것이 좋습니다. 즉, 높이를 낮추는 것입니다. 이렇게 하면 측정 물체를 다시 회수할 때 물체가 렌즈에 부딪히는 일을 방지할 수 있습니다.

 

높이가 다 낮아졌다면, vent를 눌러 진공을 해제합니다.

진공이 모두 해제되면 SEM 도어를 열고 측정한 물체를 꺼냅니다.

이 과정은 생략해도 되지만, SEM 기계에 이물질이 들어가지 않도록 빈 SEM 기계 상태에서 pump를 눌러 진공을 유지하는 것도 좋습니다.

 

 

이렇게 오늘은 주사전자현미경 SEM의 사용법 후반부에 대해 알아보았습니다.

또다른 설비 사용법으로 찾아오겠습니다.